材料表面特性及结构表征
发布:2020-07-21 10:58,更新:2024-04-27 09:18
材料表面特性及结构表征
材料表面特性及结构表征 ——SEM+EDS
基本原理:
电子枪发出电子,经过加速电压加速后轰击到测试样品表面,激发出各种信号,其中有二次电子(SEI),被散射电子(BEI),特征X-ray,俄歇电子等信号,其中SEI及BEI用于成像,特征X-ray则用于材料表面元素分析。
目的意义:
通过对涂镀层、形貌、表面元素的测试,可以监控产品质量,有助于改善工艺。
样品的要求:
非磁性,不易潮解,且无挥发性的固态样品,尺寸要求:小于3CM*3CM*3CM样品。若样品不符合要求尺寸,须告知样品可否破坏!
测试项目:
1.表面形貌观察,断口观察 :JY/T 010-1996 分析型扫描电子显微镜方法通则
2.微薄镀层厚度测量 :GB/T 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量
3.表面元素定性半定量分析 :GB/T 17359-1998 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则
4.锡须观察 :JESD 22a121.01测量锡和锡合金材料表面晶须生长的测试方法
JESD 201 影响锡和锡合金材料表面晶须生长的可接受环境要求
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